空氣潔凈度是對精密產(chǎn)品質(zhì)量保證的重要手段

空氣潔凈度是對精密產(chǎn)品質(zhì)量保證的重要手段
　　隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展，對實(shí)驗(yàn)、研究和生產(chǎn)的環(huán)境要求越來越高，因而調(diào)節(jié)空氣品質(zhì)的技術(shù)——空氣調(diào)節(jié)技術(shù)的內(nèi)容也隨之逐步擴(kuò)大。現(xiàn)代空調(diào)技術(shù)不僅包含調(diào)節(jié)空氣的溫度、濕度和速度的概念，而且還包含了調(diào)節(jié)其潔凈度、壓力以及成分、氣味的概念。
　　現(xiàn)代化的科學(xué)實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)活動(dòng)對空氣潔凈度的要求是從下述四方面提出來的：
　　1、 加工的精密化。
　　現(xiàn)代產(chǎn)品的加工精度已經(jīng)進(jìn)入亞微米量級，而且正在向更小的量級發(fā)展：利用分子束外延技術(shù)已可按一個(gè)一個(gè)原子層來生長單晶材料；利用離子束刻蝕技術(shù)也可以對半導(dǎo)體材料進(jìn)行一個(gè)一個(gè)原子的刻蝕剝離等等。因此，科學(xué)界提出了在本世紀(jì)末可能進(jìn)行原子級加工的設(shè)想，即加工的幾何圖形寬度可以小到幾個(gè)原子的線度。
　　2、 產(chǎn)品的微型化。
　　原來體積為幾千立方厘米的電子裝配件，現(xiàn)在縮減到零點(diǎn)幾立方厘米，其中：集成電鍍的圖形距已小到不足1um，一個(gè)電子元件的二氧化硅保護(hù)膜厚0.5um，光致抗蝕劑厚度只有0.2um，而各層甚至只有0.03um。
　　3、 產(chǎn)品的高純度(或高質(zhì)量)。
　　由過去認(rèn)為很純的“化學(xué)純”進(jìn)入今天“電子純”、“超純”時(shí)代的藥品、試劑，以及各種超純材料，都是在高純度基礎(chǔ)上才能使原料充分發(fā)揮其固有特性或者呈現(xiàn)出新的特性。
　　4、 產(chǎn)品的高可靠性。
　　高可靠性對于電子化、自動(dòng)化時(shí)代的產(chǎn)品，對于確保人的安全的無菌操作，對于分子生物學(xué)的遺傳工程都有特殊重要的意義。
　　顯然，在上述四種情況下，如果有微粒進(jìn)入產(chǎn)品，這種微粒就可能構(gòu)成障礙、短路、雜質(zhì)源和潛在缺陷。上述四種要求越高，則允許存在于環(huán)境空氣中的微粒數(shù)量越少，也就是潔凈程度越高。因此，潔凈技術(shù)已成為科學(xué)實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)活動(dòng)現(xiàn)代化的標(biāo)志之一。同時(shí)也是保證精密產(chǎn)品質(zhì)量的重要手段。